高純水設備是一種將自來水轉化高純度水的處理設備。
高純水設備在光學領域中的重要作用日益突出，高純水水質已成為影響光學器件產品質量、生產成品率及生產成本的重要因素之一，高純水設備采用滲透+EDI模塊技術，前置預處理配套使用+反滲透處理，有效去除水中各種鹽份及雜質，然后運用EDI模塊進一步提升水質。
高純水設備的工藝流程：原水箱+原水泵+石英砂過濾器+活性炭過濾器+精密過濾器+ro反滲透系統+edi系統+超純水箱。自來水首先通過石英砂、活性炭過濾器，先去除水中較大的顆粒、懸浮物以及部分有機物。然后進入ro反滲透系統，ro反滲透對水中的離子物質和大分子物質（如病毒、微生物等）進行截留性去除。之后再經過edi系統，對經過反滲透膜去除后殘余的微理離子進行純化和超純化。
高純水設備是將ro反滲透膜+edi電滲析和離子交換聯合在一起，利用兩端電極高壓使水中帶電離子移動，并配合離子交換樹脂及選擇性樹脂膜以加速離子移動去除，使產水水質可達10~15MΩ的高脫鹽效果工藝。設備最重要的組件是EDI模塊
EDI是一種將離子交換技術、離子交換膜技術和離子電遷移技術相結合的超純水制造技術。它巧妙的將電滲析和離子交換技術相結合，在EDI除鹽過程中，離子在電場作用下通過離子交換膜被清除。同時，水分子在電場作用下產生氫離子和氫氧根離子，這些離子對離子交換樹脂進行連續再生，以使離子交換樹脂保持最佳狀態。
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